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水环真空泵在半导体行业中使用

半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生以及有毒的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，临沂真空泵，半导体水环真空泵应用时需要注意的几个安全事项：　　1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，临沂真空泵售后，避免超压：

半导体真空泵应用时，临沂真空泵选型，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解会形成HCl；假设是油封式机械泵，临沂水环真空泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。。

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水环式真空泵适用范围：

真空过滤（脱水）

造纸厂、铁矿厂、洗煤厂、铝矿厂、磷肥厂、化学制品厂、纸盒厂等、

真空蒸馏

牛奶厂、食品厂、化工厂、纸浆厂等

真空造型

塑料厂、橡胶厂、轮胎厂。

真空浸渍

食品加工、木器加工、纺织厂、胶合板厂。

真空消毒

医院、医务室、实验室、无菌室等。

真空引水

自来水厂、排灌站、水泵吸排引水。

真空脱气

瓶装厂、水软化、食品加工、食品包装、

真空输送

卷烟厂、制罐厂。

淄博博山博富来制泵有限公司是生产水环真空泵、不锈钢真空泵、往复真空泵、旋片真空泵、真空机组等泵类研究制造企业。主要产品有2BY、2BEA、2SK、SK、SZ、SZB系列水环式真空泵及压缩机、2SK-P1系列两级水环泵——大气喷射泵机组、SPB系列水喷射泵、X、2X、2XZ系列旋片式真空泵、W、WY系列往复式真空泵、立式无油往复真空机组、ISG系列立式单级管道泵、LG、DA1、DL、SH水泵、产品广泛用于机械、石油、化工、造纸、、食品、制糖、电子、冶金、陶瓷、引水、印染、建材、塑机、高层建筑给水等领域。

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